經(jīng)濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics

簡要描述：

SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感應(yīng)功能，非常適合紫外光學(xué)測試、紫外激光表征(用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用)以及鏡頭和晶圓的表面檢查。SID4 UV經(jīng)濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics

更新時間：2024-11-08

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廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址：法國

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產(chǎn)品介紹：

波前傳感器是一種用于測量光學(xué)波前的計量工具。雖然“波前傳感器"一詞涵蓋各種儀器，但它具體指獨立運行而不需要參考光束的波前測量設(shè)備，例如 Fizeau 或 Twyman-Green 干涉儀。制造波前傳感器的主要技術(shù)是 Shack-Hartmann 和橫向剪切干涉法。Phasics 的波前傳感器基于四邊形剪切干涉技術(shù)。

一、SID4 UV波前傳感器介紹

SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感應(yīng)功能，非常適合紫外光學(xué)測試、紫外激光表征(用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用)以及鏡頭和晶圓的表面檢查。

● 非常高的分辨率 – 250 × 250 采樣

● 高靈敏度 – 2 nm RMS

● 經(jīng)濟實惠的紫外波前測量解決方案

二、SID4 UV波前傳感器參數(shù)

型號	SID4 UV
品牌	Phasics
波長	190 - 400 nm
靶面	7.8 x 7.8 mm2
空間分辨率	26 µm
相位和強度采樣	300 x 300
采集率	> 15 fps
分辨率（相位）	2 nm RMS
準(zhǔn)確度	15 nm RMS
實時處理頻率	2 fps (full resolution)*
接口	Giga Ethernet
尺寸(WxHxL)	74 x 71 x 91 mm3
重量	~600g

三、應(yīng)用

激光行業(yè)

半導(dǎo)體

天文學(xué)

航空航天

AR/VR

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